Lithografiemaschinerie China plant Lieferung von fünf eigenen DUV-Lithografie-Anlagen noch für dieses JahrChina bereitet die Auslieferung eigener Immersions-DUV-Systeme vor. Berichten zufolge sollen noch in diesem Jahr fünf Immersions-DUV-Systeme ausgeliefert werden, deren technologische Grundlage von Shanghai Yuliansheng Technology entwickelt wurde. Aishengna wird in den Berichten als das Unternehmen genannt, das die von Yuliansheng entwickelten Systeme fertigen beziehungsweise an chinesische Kunden ausliefern soll. Damit verteilt sich das Projekt offenbar auf Entwicklungsarbeit bei Yuliansheng und die weitere Industrialisierung unter dem Dach von Aishengna. Technisch soll sich die Maschine am Twinscan NXT:1950i von ASML orientieren, einem Immersions-DUV-System, das der niederländische Hersteller 2008 vorstellte.